Главная страница Случайная страница
КАТЕГОРИИ:
АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника
Задание к выполняемой работе
|
|
1.4.1 В соответствии с таблицей заданий и указаниями преподавателя выбрать вариант исходных данных для работы.
Таблица заданий - варианты исходных данных
| № варианта | Исходная пластина | Внедряемая примесь | Загонка | Разгонка | ||
| Температура °С | Время, мин | Температура °С | Время, мин | |||
| КЭФ-0, 5 | Бор | 5-сухое 45-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1, 5 | Фосфор | 5-сухое 45-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0, 4 | Бор | 10-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1 | Фосфор | 10-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0, 3 | Бор | 10-сухое 57-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-2 | Фосфор | 10-сухое 57-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0, 5 | Бор | 5-сухое 50-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1, 8 | Фосфор | 5-сухое 50-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0, 2 | Бор | 10-сухое 50-мокрое 10-сухое | ||||
| КДБ-1, 2 | Фосфор | 10-сухое 50-мокрое 10-сухое | ||||
| КЭФ-0, 1 | Бор | 5-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1, 5 | Фосфор | 5-сухое 55-мокрое 5-сухое |
1.4.2 Для своего варианта в соответствии с маркировкой пластины по графикам Ирвина определить тип проводимости и исходную концентрацию легирующей примеси CB. Постройте концентрационный график легирующей примеси в исходной пластине.
1.4.3 Из графика температурной зависимости предельных растворимостей в кремнии найти значение поверхностной концентрации внедряемой примеси в процессе загонки.
1.4.4 Вычислите глубину р-n перехода, получаемого в процессе загонки. Для этого по графику 4 найдите величину z (формула 15). Затем по графику Аррениуса 5 найдите величину 
и вычислите 
. Потом из формулы 15 найдите Xj.
1.4.5 Определите дозу введенной примеси в процессе загонки в соответствии с формулой 16.
1.4.6 Для процесса разгонки вычислите в соответствии с формулой 24 поверхностную концентрацию СS2, получаемую в конце обработки пластины.
1.4.7 Вычислите окончательную глубину p-n перехода после разгонки примеси. Для этого из графика 4 найдите величину z, соответствующую формуле 25, аналогично пункту 1.4.4 по графику Аррениуса 5 найдите величину 
и вычислите 
. Время t2 – это полное суммарное время всех термоопераций для стадии разгонки. Затем по формуле 25 найдите окончательную величину глубины р-n перехода.
1.4.8 Вычислите в 6 точках значения величин для таблицы 2
Таблица 2 – Концентрационные значения профилей легирования
| X | Загонка | Разгонка | ||||
| 
| С(x) | 
| 
| С(x) | |
| 0, 2*Xj | ||||||
| 0, 3*Xj | ||||||
| 0, 5*Xj | ||||||
| 0, 7*Xj | ||||||
| Xj |
и постройте в полулогарифмических осях концентрационные профили легирования диффузионного p-n перехода, получаемые после стадий загонки и разгонки. Отметь точки, соответствующие получаемым глубинам перехода.
Содержание отчета
Отчет должен содержать
¾ графики концентрационного профиля в исходной пластине, концентрационные графики внедренной примеси после стадий загонки и разгонки;
¾ подробный расчет параметров таблицы 2;
¾ подробный расчет параметров диффузионного p-n перехода (глубина, поверхностная концентрация, доза введенной примеси) для стадий загонки и разгонки;
¾ выводы и технические комментарии к работе
Эффект взаимодействия примесей: бора (база) и фосфора (эмиттер) – выдавливание базы эмиттером
|
Таблица – Значения дополняющей функции интеграла ошибок
| z | erfc(z) | z | erfc(z) | z | erfc(z) | z | erfc(z) |
| 1, 00000 | 1, 0 | 0, 15730 | 2, 0 | 0, 00468 | 3, 0 | 0, 00002209 | |
| 0, 1 | 0, 88754 | 1, 1 | 0, 11980 | 2, 1 | 0, 00298 | 3, 1 | 0, 00001165 |
| 0, 2 | 0, 77730 | 1, 2 | 0, 08969 | 2, 2 | 0, 00186 | 3, 2 | 0, 00000603 |
| 0, 3 | 0, 67137 | 1, 3 | 0, 06599 | 2, 3 | 0, 00114 | 3, 3 | 0, 00000306 |
| 0, 4 | 0, 57161 | 1, 4 | 0, 04772 | 2, 4 | 0, 000689 | 3, 4 | 0, 00000152 |
| 0, 5 | 0, 47950 | 1, 5 | 0, 03390 | 2, 5 | 0, 000407 | 3, 5 | 0, 000000743 |
| 0, 6 | 0, 39614 | 1, 6 | 0, 02365 | 2, 6 | 0, 000236 | 3, 6 | 0, 000000356 |
| 0, 7 | 0, 32220 | 1, 7 | 0, 01621 | 2, 7 | 0, 000134 | 3, 7 | 0, 000000167 |
| 0, 8 | 0, 25790 | 1, 8 | 0, 01091 | 2, 8 | 0, 000075 | 3, 8 | 0, 000000077 |
| 0, 9 | 0, 20309 | 1, 9 | 0, 00721 | 2, 9 | 0, 000041 | 3, 9 | 0, 000000035 |
