![]() Главная страница Случайная страница КАТЕГОРИИ: АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника |
Принцип метода измерения и рабочая формула. Принцип метода заключается в следующем: свет от источника света разделяется на две части, одна из которых отражается эталонной плоской полированной
Принцип метода заключается в следующем: свет от источника света разделяется на две части, одна из которых отражается эталонной плоской полированной поверхностью (зеркалом), а вторая исследуемой поверхностью. Если поверхности образуют малый угол, то между ними возникает оптический клин, в котором и возникает оптическая разность хода
где Так как высота клина
В случае воздуха Каждая тёмная (или светлая) полоса соответствует одинаковой высоте зазора Интерференционная картина, возникающая при наложении (сложении) двух пучков света, отраженных от исследуемого объекта и эталонного зеркала, соответственно, представлена на рис. 4.
а) б) Рис.4. Вид характерной интерференционной картины а) – от полированной поверхности металла с нанесенным штрихом глубиной Н = 0, 55 мкм; б) – от шероховатой поверхности детали, обработанной прямолинейно движущемся режущим инструментом
Если где-то на исследуемой поверхности имеется канавка (или выступ), то это нарушает интерференционную картину в этом месте и приводит к искривлению полос. Причём направление изгиба говорит о том выступ это или канавка, а величина искривления позволяет судить о высоте неровности. Если нижняя сторона рис. 4а соответствует меньшей толщине клина, а верхняя большей, то искривление интерференционных полос вниз соответствует выступу, а вверх – канавке. Очевидно, величина изгиба в одну полосу, соответствует изменению оптической разности хода Если величина искривления полос равна d, а ширина одной полосы b, то высота неровности
|