![]() Главная страница Случайная страница КАТЕГОРИИ: АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника |
Ионные источники
Вакуумные разряды являются эффективным и простым источником ионов и электронов. В качестве источника металлических ионов используется вакуумная дуга. В этом случае ионный источник поставляет ионы материала катода. Сорт ионов может быть изменен путем замены катода. В случае вакуумной дуги ток ионов составляет 10% от тока дугового разряда Для получения ионов диэлектрических материалов может быть использован разряд по поверхности диэлектрика. Ионные и электронные источники на основе вакуумного разряда используются для процессов модификации поверхности изделий в промышленности, в качестве поставщика частиц для ускорителей, и в качестве космических ионных плазменных двигателей малой тяги. Типичная схема ионного источника представлена на рис 7.1. В данном случае для инициирования разряда используется вспомогательный разряд по поверхности диэлектрика. Схемы питания дуги и инициирующего разряда находятся под потенциалом, необходимым для вытягивания ионов дугового разряда из разрядного промежутка.
Вакуумные разряды в основном являются сильногочными что делает крайне затруднительным создание стационарных источников плазмы из-за нагрева электродов и схемы питания. В основном на основе вакуумных разрядов производят импульсные источники ионов.
Вакуумный разряд может быть инициирован несколькими способами. Основные такие способы представлены на рис 7.2 Главная задача любого из способов инициирования - создание на катоде катодного пятна.
Ограничение на создание стационарного источника может быть обойдено за счет создания вращающегося катододержателя Рис.7.3. В таком источнике вращающиеся катоды последовательно соприкасаются с поджигающим электродом. В этот момент происходит вспомогательный разряд запускающий импульс основного дугового тока.
Источники ионов и электронов на основе вакуумных разрядов используются для модификации поверхности изделий, в качестве поставщика частиц для ускорителей и для импульсных двигателей малой тяги на твердом рабочем теле.
|