Студопедия

Главная страница Случайная страница

КАТЕГОРИИ:

АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника






Факторы, влияющие на свойства тонких пленок






 

Рост одного вещества на подложке из другого вещества — очень сложный процесс, зависящий от большого числа трудно контролируемых параметров: структуры подложки, состояния ее поверхности, температуры, свойств испаряемого вещества и скорости его осаждения, материала и.конструкции испарителя, степени разрежения, состава остаточной среды и ряда других. В табл. 1 показана связь между свойствами пленок и условиями их осаждения.

 

Свойства пленки факторы, влияющие на указанные свойства  
                 
Размер зерен Материал подложки и пленки. Загрязнения подложки.
      Подвижность атомов осаждаемого материала на поверхности
      подложки (температура подложки, скорость осаждения).
      Структура поверхности подложки (степень шероховатости,
      наличие кристаллов)      
Расположение кристаллов Структура подложки ''(монокристаллическая,  
      поликристаллическая или аморфная). Загрязнения подложки
      (нарушение структуры пленки). Температура подложки
      (обеспечение необходимой подвижности атомов осаждаемого
      материала)        
Адгезия между пленкой Материал подложки и пленки. Дополнительные процессы
      (например, образование промежуточного слоя окисла
      между пленкой и подложкой). Загрязнение подложки.
      Подвижность атомов осаждаемого материала  
Загрязнение   Чистота испаряемого материала. Материал испарителя.
      Загрязнение подложки. Степень разрежения и состав
      остаточной среды. Соотношение между давлением остаточных
      газов и скоростью осаждения      
Окисление   Степень химического сродства осаждаемого материала к
      кислороду. Поглощение водяных паров подложкой.
      Температура подложки. Степень разрежения и состав
      остаточной среды. Соотношение между давлением остаточных
      газов и скоростью осаждения      
Напряжение   Материал пленки и подложки. Температура подложки.
      Размер зерен, включения, кристаллографические дефекты в
      пленке. Отжиг. Угол между молекулярным пучком и подложкой
                               

 

В зависимости от конкретных условий осаждения пленки одного и того же вещества могут иметь следующие основные структурные особенности: аморфную структуру, характеризующуюся отсутствием кристаллической решетки; коллоидную (мелкозернистую) структуру, характеризующуюся наличием очень мелких кристалликов (менее 10~2 мкм); гранулярную (крупнозернистую) структуру, имеющую крупные кристаллы (10-1 мкм и более); монокристаллическую структуру, когда вся пленка представляет собой сплошную кристаллическую решетку атомов данного материала.


Поделиться с друзьями:

mylektsii.su - Мои Лекции - 2015-2024 год. (0.006 сек.)Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав Пожаловаться на материал