![]() Главная страница Случайная страница КАТЕГОРИИ: АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника |
Интерферометры ⇐ ПредыдущаяСтр 8 из 8
Наряду с пробными стеклами на предприятиях оптико-механической промышленности широко используют интерферометры типа Физо, обеспечивающие возможность бесконтактной проверки плоских полированных поверхностей и зеркал. Принципиальная оптическая схема одного из наиболее распространенных интерферометров показана на рис. 2.6 [6].
В отличие от пробного стекла в интерферометрах типа Физо используют точечный монохроматический источник света и параллельный пучок, направленный вдоль нормалей к образцовой и проверяемой поверхностям. Благодаря этому обеспечивается контроль при значительных промежутках t между образцовой и проверяемой поверхностью, причем цена полосы, равная λ /2, практически не зависит от размера воздушного промежутка и координат точек поверхности. На приборах такого типа можно проверять детали с выступающими оправами, ступенчатые поверхности и т. п. Величина и характер дефектов оцениваются с помощью интерферометров типа Физо так же, как и при контроле пробным стеклом. Некоторые приборы типа Физо снабжаются двумя поочередно включаемыми клиньями. Образцовая поверхность одного из них имеет светоделительное покрытие с коэффициентом отражения, близким к 0, 8. С помощью такого клина проверяют зеркала или полированные поверхности с высоким (более 0, 2) коэффициентом отражения. На интерферометрах типа Физо можно также проверять шлифованные поверхности. Для этого перед контролем их покрывают тонким слоем смеси, состоящей из воска, масла и парафина. В результате такого покрытия поверхность становится зеркально отражающей. В табл. 2.5 приведены основные технические характеристики интерферометров типа Физо. Из указанных приборов серийно выпускаются интерферометры ИТ-87, ИТ-200, ИТ-100, ПК-452, остальные – небольшими партиями.
Из табл. 2.5 видно, что существующие приборы отечественного производства позволяют за один прием проверить поверхности диаметром до 300 мм. Поверхности диаметром более 300 мм средней и невысокой точности с малым и большим значениями коэффициента отражения можно проверять с помощью интерферометра на решетках (см. выше). Интерферометры фирмы «Цайго» («Zygo», США) обеспечивают проверку за один прием полированных поверхностей диаметром до 800 мм.
|