Общие сведения о сварке в производстве изделий электронной технике. Механизмы и способы реализации.

Лекция 13

Тема. Микросварка при монтаже конструктивов ЭВС. Механизм и способы микросварки. Средства реализации.

Общие сведения о сварке в производстве изделий электронной технике. Механизмы и способы реализации.

Сварка представляет собой технологический процесс (ТП) получения неразъемных соединений элементов конструктивов электронных устройств (ЭУ) посредством местного разогрева (иногда до температуры плавления ()), пластической деформации либо совместного их воздействия на контактируемые материалы. Суть процесса сварки заключается в таком взаимном проникновении или сближении контактируемых материалов, при котором начинают действовать силы межатомного (межмолекулярного) сцепления (то есть образуются устойчивые химические связи между атомами соединяемых материалов).

По физическому состоянию материала в зоне соединения все существующие способы сварки можно подразделить на сварку плавлением и сварку давлением (рис.13.1).

Рис.13.1. Основные способы сварки, используемые в производстве изделий электронной техники.

При сварке плавлением (см. группу 1, рис.13.1), часто используемой на этапах герметизации конструктивов ЭУ, механизм образования сварного соединения определяется процессами:

 создания физического контакта между соединяемыми материалами (за счет сближения и фиксации сопрягаемых материалов в нужном положении);

 активации контактируемых поверхностей (за счет воздействия мощного концентрированного потока тепловой энергии), обеспечивающей локальное расплавление свариваемых материалов (обычно кромок материалов деталей корпусов при герметизации корпусов конструктивов ЭУ), вследствие чего при расплавлении участков сопрягаемых материалов, смачивании расплавом и его растекании по контактируемым твердым поверхностям образуются очаги схватывания (активные центры), на которых происходит коллективизация валентных электронов, приводящая к образованию металлической связи между контактирующими поверхностями при полном исчезновении микрозазоров между ними;

 объемного развития взаимодействия жидкой и твердой фаз свариваемых материалов, которое заканчивается слиянием очагов схватывания и сопровождается на поверхностях и в объеме соединяемых материалов процессами взаиморастворения, взаимодиффузии, перераспределения примесей; различными химическими реакциями и др. в зависимости от природы контактируемых материалов, наличия в них примесей, степени очистки свариваемых поверхностей;

 кристаллизации расплава с образованием зональной структуры сварного шва, состоящей из ядра, переходных зон и зон исходных материалов. Ядро при сварке представляет собой закристаллизовавшуюся жидкую фазу, которая может состоять из гомогенных кристаллов (при сваривании одинаковых чистых металлов); твердого раствора замещения или внедрения (если металлы имеют одинаковый тип кристаллической решетки и различия в атомных радиусах ), интерметаллических соединений (если атомы свариваемых металлов связаны сложной кристаллической решеткой, существенно отличающейся от решетки каждого из них); механической смеси кристаллов соединяемых металлов и примесей (для металлов с большими различиями физических свойств и не способных образовывать общие кристаллы).

Структура ядра определяет качество и надежность сварного соединения. Поэтому при сварке стремятся получить гомогенную поликристаллическую структуру соединения, путем подбора материалов с одинаковыми электрофизическими и механическими свойствами, а также строением кристаллической решетки и электронной структуры, либо способных образовывать твердые растворы в широком диапазоне концентраций. В переходных зонах, протяжность которых может изменяться в широких пределах (в зависимости от способа реализации сварки плавлением), происходят диффузионное легирование исходных материалов и процессы рекристаллизации* (выполняющие важную роль в минимизации остаточных напряжений, которые возникают в сварном соединении при кристаллизации расплава вследствие уменьшения объема твердой фазы по сравнению с жидкой).

При сварке давлением (см. группу 2, рис.13.1) механизм образования сварного соединения материалов в твердом состоянии определяется процессами:

 создания плотного физического контакта между поверхностями соединяемых материалов (до межатомных расстояний порядка 10…100 нм);

 активации поверхностей материалов в месте контакта с ослаблением связей поверхностных атомов для обеспечения разрушения и удаления из зоны сварки остатков оксидов и продуктов адсорбции в тонких приповерхностных слоях контактируемых материалов и, тем самым, создания условий, энергетически благоприятных для процесса схватывания (при этом основным активатором, обеспечивающим схватывание материалов, находящихся в твердом состоянии, является давление; дополнительные активаторы, например, нагрев зоны контактирования с использованием различных источников энергии, включая ультразвуковые (УЗ) колебания, могут существенно ускорить процесс схватывания, уменьшить время его протекания, кроме того, нагрев может вызвать изменение кристаллической структуры металлов в зоне сварки, а следовательно и механических свойств получаемого соединения); в процессе активации происходит образование на поверхности более твердого из соединяемых материалов химически активных центров (т.е. частиц со свободными валентностями, возникающих при разрыве связей поверхностных атомов в местах образования дефектов);

 пластического деформирования сопрягаемых материалов, приводящего к тому, что все большая часть поверхностей материалов в зоне контакта очищается от оксидных и адсорбционных пленок, включается в соприкосновение, способствуя увеличению активных центров и разрастанию этих очагов схватывания с образованием металлических связей. При использовании УЗ-колебаний происходит упрочнение поверхностных слоев в зоне сварки и деформирование более глубоких слоев твердых тел с одновременным интенсивным тепловыделением, вызванным трением сжатых контактирующих поверхностей, что ускоряет процесс деформирования и разрастания очагов схватывания;

 взаимной диффузии несвязанных поверхностных атомов в приповерхностные слои контактируемых материалов, что при правильном подборе этих материалов и технологических режимов процесса сварки может упрочнить соединение либо, при нарушении этих условий, приводить к образованию хрупких интерметаллических фаз, снижающих прочность сварных соединений.

Таким образом, физико-химическая природа образования металлических связей, обеспечивающих прочное сварное соединение при сварке плавлением и давлением одинакова, но механизмы создания условий для обеспечения процесса схватывания – разные. При сварке плавлением механизм образования сварного соединения связан с процессами взаимодействия жидкой и твердой фаз, а при сварке давлением – с процессами, происходящими между взаимно пластически деформируемыми твердыми телами. Поэтому свариваемые давлением материалы должны обеспечивать необходимое пластическое течение в твердом состоянии, то есть иметь хорошую пластичность.

Выбор способа сварки зависит от физико-химических свойств свариваемых материалов, нагревостойкости сопрягаемых с ними материалов, условий проведения процесса сварки, толщины соединяемых деталей и конструкции сварного соединения (нахлесточное, стыковое и др.).

Все виды сварки плавлением (разновидности 1, а…ж, см. рис.13.1) используются преимущественно при герметизации корпусов конструктивов ЭУ, а также для получения высокопрочных сварных швов несущих конструкций ЭВС; газовая сварка (см. разновидность 1, з, рис.13.1) обычно применяется для вспомогательных работ в производстве ЭВС (например, при ремонте конструктивов технологического оборудования), для локальных оплавлений проволоки (например, с помощью газовой горелки) и др. При герметизации корпусов ЭУ используют также виды сварки группы 2.1 и 2.2, д (см. рис.13.1). Целесообразно кратко рассмотреть особенности часто применяемых разновидностей сварки.

В разновидностях сварки плавлением (см. 1, а…г, рис.13.1) для нагрева свариваемых материалов используют электрическую дугу между двумя электродами (из графита или вольфрама) чаще при косвенном нагреве зоны сварки (свариваемые материалы не включаются непосредственно в цепь электрической дуги, т.е. не являются электродами, что позволяет обеспечить сварку не только жаропрочных материалов, но и неэлектропроводящих, например, стекол, керамик и др.). Аргонодуговая сварка – разновидность дуговой, при которой электрическая дуга свободно горит в атмосфере аргона (или гелия); применяется для сварки главным образом металлов и сплавов с высокой температурой плавления и толщиной от десятых долей до нескольких десятков мм; позволяет получать вакуумплотные высокопрочные швы, но требует более сложного оборудования с контролируемой технологической средой.

Для качественной герметизации металлостеклянных корпусов со штырьковыми выводами необходимо:

 при использовании сплавов 29НК-Т в качестве материала основания, корпус крышки изготовлять из ковара или нержавеющей стали 1Х18Н9Т;

 толщину кромок под сварку выдерживать 0, 1…0, 6 мм. Разница в толщине кромок крышек и оснований должна быть в пределах допуска на толщину проката. Радиус закругления углов корпуса не должен превышать 1, 5 мм. Отклонение формы от плоскости не должно быть более 0, 05 мм (для оснований) и 0, 1 мм (для крышек);

 детали корпусов при герметизации необходимо устанавливать в кассетах с медными теплоотводами;

 ширину отбортовок основания и крышки не допускается иметь менее 1мм, а смещение кромок при сборке в кассетах – более 0, 1 мм;

 наличие покрытий (никель, золото) на элементах корпуса перед герметизацией крайне нежелательно;

 для повышения коррозионной стойкости крышек и оснований до сварки рекомендуется применять химическое полирование.

Микроплазменная сварка является разновидностью малоамперной дуговой сварки, использующей сжатую дугу с низкотемпературной плазмой для сварки металлов малых толщин. В этом виде сварки локализация и стабилизация разряда достигаются сжатием его с помощью насадки (сопла) с малым (менее 1мм) диаметром выходного отверстия и с применением разрядного устройства (плазмотрона).

Относительно малые токи в дуговом разряде (до 40 А) при малом сечении плазменного столба имеют высокую плотность, а цилиндрическая форма столба позволяет удлинять дугу практически без изменения параметров сварного шва. Этот процесс свободен от основных недостатков малоамперной аргонодуговой сварки: сравнительно большого активного пятна и нестабильности при малых токах. Стабилизация струей плазмообразующего газа (обычно аргона) позволяет за счет уменьшения канала сопла плазмотрона существенно увеличить длину дуги и концентрацию энергии в источнике теплоты. Установки микроплазменной сварки (например, типа МПУ-4) рассчитаны на работу в непрерывном и импульсном режимах постоянного тока прямой и обратной полярности; обеспечивают герметизацию корпусов электронных приборов, соединения сильфонов, миниатюрных трубопроводов, корпусов реле, термопар и др.

Сущность процесса электронно-лучевой сварки (ЭЛС) состоит в использовании кинетической энергии электронов, быстро движущихся в высоком вакууме и сильном электрическом поле. Электронный луч – это поток электронов, перемещающихся со значительной скоростью от катода к аноду. При соударении ускоренных электронов с поверхностью детали (анода) их кинетическая энергия превращается в тепловую. ЭЛС проводится в вакуумных установках при давлении … мм рт.ст. Электронный пучок образуется за счет эмиссии электронов с нагретого катода (электронной пушки) и, с помощью электростатических и электромагнитных линз, фокусируется на поверхности свариваемых деталей. Электронный луч можно сфокусировать в пятно площадью до , а плотность энергии луча может достигать величины , т.е. превосходить все другие источники теплоты, кроме лазерного излучения. В зависимости от значения ускоряющего напряжения электроны проникают в материал на некоторую глубину

,

где – ускоряющее напряжение, В; – плотность материала, .

Тепловой источник при электронно-лучевом воздействии распределен в пространстве сложным образом: нормально по поверхности и глубине пробега электронов с максимумом на некоторой глубине.

При малых ускоряющих напряжениях (до 20 кВ) глубина проникновения электронов составляет около 1мкм, поэтому можно считать источник поверхностным и распределенным по гауссову закону. Эффективный КПД электронно-лучевого нагрева составляет

,

где – коэффициент отражения электронов; – коэффициент пропорциональности, характеризующий распределение отраженных электронов по их энергиям. Обычно . Величина определяется по эмпирическому соотношению

,

где – масса атома, г; – константа, имеющая значение для легких () элементов г, для тяжелых () элементов г.

Диаметр фокального пятна электронного луча в электронно-лучевых установках зависит от тока луча и расстояния от центра фокусирующей системы до свариваемой поверхности

,

где – диаметр луча, мм; – расстояние от оси фокусирующей системы до поверхности сварки, мм; – ток луча, мА; ; ; .

При герметизации прямоугольных корпусов их вращают вокруг оси, перпендикулярной оси электронного луча. Все точки периметра корпуса последовательно проходят под лучом на различном расстоянии (выше или ниже) от оптимального положения фокуса луча. Максимально допустимое отклонение от фокальной плоскости определяют, пользуясь полуэмпирическими формулами. Равномерное распределение энергий по оси луча при вращении герметизируемого корпуса можно получить за счет высокочастотного (более Гц) сканирования фокуса луча относительно фокальной плоскости.

Преимущества ЭЛС:

 точное регулирование и управление тепловой энергией (при непрерывном и импульсном режимах);

 локальный нагрев;

 возможность сварки деталей малых размеров;

 высокая чистота среды (вакуум);

 возможность автоматизации процесса сварки;

 возможность регулирования глубины проникновения луча (т.е. возможность регулирования глубины сварной зоны).

Недостатки ЭЛС:

 сложность установок из-за наличия вакуума и управляющих устройств;

 высокая стоимость выполнения процесса сварки.

ЭЛС может применяться для приварки выводов ИС и микросборок в металлостеклянных корпусах, а также для герметизации металлостеклянных корпусов и для сварки тугоплавких, химически активных и разнородных материалов, изделий из стали, высокопрочных сплавов на основе алюминия.

Лазерная сварка обеспечивается световым лучом, создаваемым оптическим квантовым генератором (ОКГ) – лазером, представляющим собой прибор, формирующий высокоинтенсивное когерентное (согласованное в пространстве и времени) электромагнитное излучение. С помощью оптической системы этот излучаемый поток легко фокусируется на поверхности материала в пятно диаметром от единиц до десятков мкм. Основное достоинство такой сварки – возможность концентрации сравнительно больших энергий на малых площадях в короткие промежутки времени. Так, площадь пятна лазерного луча может составлять менее плотность энергии при этом достигает до (однако для целей сварки достаточно ). Скорость нагрева в месте сварки составляет , а градиент температуры в зоне сварки град/см. Последние два параметра обеспечивают оптимальное тепловое воздействие в зоне сварки.

Для каждой пары соединяемых материалов существует предельное значение интенсивности излучения в локальном пятне, выше которого сварка будет сопровождаться, значительным испарением материала из зоны нагрева или выносом части расплавленного металла. Управление интенсивностью излучения в фокальном пятне можно осуществлять тремя способами:

 изменением длительности излучения;

 изменением площади фокального пятна;

 изменением выходной энергии ОКГ.

Для большинства металлов, применяемых в микроэлектронике, при сварке пластин толщиной 0, 2 мм оптимальная длительность лазерного излучения лежит в диапазоне 1…8 мсек.

Круглые и плоские проводники толщиной 0, 05…0, 5 мм из Cu, Ni, Au, ковара, Ta хорошо свариваются внахлест, встык, Т-образно и крестообразно. При сварке двух проволочек лучшие результаты достигаются при расположении их параллельно. Однако, лазерная сварка требует высоконагревостойких материалов, сопрягаемых со свариваемыми деталями. Кроме того, лазерная сварка позволяет:

 сваривать металлы в непосредственной близости от металло-стеклянных спаев;

 легко фокусировать излучение обычными оптическими системами;

 проводить сварку сквозь оптически прозрачные вещества;

 направлять излучение с помощью системы призм и зеркал в труднодоступные для сварки участки изделия.

Особенно эффективна шовная импульсная сварка энергией лазерного излучения, которая хорошо освоена в электронной промышленности для герметизации вакуумплотных корпусов изделий электронной техники, в том числе микроэлектронных устройств (МЭУ), благодаря простоте реализации, включая управление самим процессом сварки, возможностям автоматизации, получения высококачественных сварных швов не только с использованием тугоплавких металлов и сплавов, но и разнородных материалов. Сплошной шов при импульсной лазерной сварке формируется путем наложения сварных точек друг на друга с некоторым перекрытием, характеризуемым коэффициентом перекрытия , где – длина перекрытия сварных точек на поверхностях деталей; – диаметр лазерного луча. Так как форма расплава (сварной ванны) при лазерной сварке обычно близка к сферической или конической, то глубина шва зависит от коэффициента перекрытия и всегда меньше глубины проплавления материала в единичной сварной ванне. Выбор коэффициента перекрытия определяется необходимой минимальной глубиной проплавления, от которой зависят прочность и герметичность шва. Для обеспечения наибольшей глубины шва коэффициент перекрытия должен быть близок к единице. Скорость сварки при этом мала: , где – частота следования импульсов; кроме того, необходимо учитывать возможные структурные изменения в металле сварной ванны в результате многократного от 1 до воздействия излучения на один и тот же участок деталей.

При сварке вакуумплотных соединений в МЭУ типичными являются требования глубины шва 0, 1…0, 3 мм; это позволяет во многих случаях ограничиться коэффициентом перекрытия 0, 4…0, 6 и увеличить скорость сварки.

Оптимальная конструкция сварного соединения должна быть такой, чтобы требовалось минимальное тепловложение при сварке и обеспечивалась высокая степень герметичности соединения крышки с корпусом.

На отечественных установках Квант-10, 12, 17, обеспечивающих подачу в зону сварки импульсов излучения энергией от 1, 5 до 10 Дж с частотой следования от 1 до 20 Гц, не представляет труда герметизация малогабаритных корпусов, изготовленных из стали 36КНМ, 36НХТЮ, сплавов 29НК, 50Н.

Использование твердотельных лазеров на основе алюмоиттриевого граната (АИГ), легированного неодимом обеспечивает нужный режим работы при частоте до 20 импульсов в секунду, что успешно применяется при шовной сварке деталей с протяженными стыками.

Основными способами повышения производительности лазерных сварочных установок являются:

 использование оптики, позволяющей свободно манипулировать пучком излучения при сварке деталей различных конфигураций (отклоняющей оптики или гибких световодов) в сочетании с автоматизацией управления;

 разделение пучка излучения на несколько пучков и одновременная обработка нескольких деталей;

 использование в одной установке нескольких лазерных излучателей.

Для повышения качества сварки используется ряд приемов: формирование импульсов излучения особой формы; изменение параметров излучения в течение сварочного импульса; обработка изделия несколькими пучками излучения одновременно или последовательно от одного или нескольких лазеров; обработка световым пятном особой конфигурации и др.

Для повышения эффективности лазерной сварки сварочная установка может снабжаться устройством, состоящим из системы полупрозрачных и полностью отражающих зеркал, с помощью которого сварка стыкового соединения производится одновременно с двух сторон.

Увеличения прочности сварного соединения можно добиться “стиранием” резких границ между зоной проплавления и основным металлом детали. Для этого используют промежуточный оптический элемент, изменяющий распределение мощности излучения по сечению пучка таким образом, что уменьшение мощности на границе происходит постепенно, а не скачкообразно. При лазерной сварке деталей с одновременным обдувом потоком защитного газа (например, аргона) значительно уменьшается температура нагрева изделия, что связано с изменением поверхностной теплоотдачи детали в окружающую среду. Эффективность отвода теплоты с поверхности свариваемых деталей возрастает с увеличением расхода газа и скорости его истечения. При максимальных скоростях истечения газа среднее значение коэффициента поверхностной теплоотдачи превышает его значение по сравнению со сваркой без обдува более чем в 6 раз.

В табл. 13.1. приведены некоторые характеристики способов сварки плавлением, позволяющие в общих чертах определить применимость данных способов в производстве ЭВС.

Для герметизации корпусов ЭУ (МЭУ) нередко используют контактную сварку, при которой высококонцентрированный локальный нагрев свариваемых материалов обеспечивается электрическим током, т.е. соединяемые материалы нагреваются теплом, выделяющимся при прохождении через них сварочного тока. На практике реализуются два вида нагрева: сопротивлением с оплавлением (механизм подобен сварке плавлением, см. разновидность 1, ж, рис.13.1) и сопротивлением с приложением давления (механизм аналогичен сварке давлением, см. разновидности 2.2, в, д, рис.13.1). В первом случае свариваемые детали лишь соприкасаются поверхностями, что увеличивает сопротивление контакта и сварочный ток, который быстро их нагревает, в то время как во втором случае требуется хороший контакт (т.е. сдавливание) свариваемых металлов, разогреваемых сварочным током, проходящим через контактируемые поверхности при уменьшении контактного сопротивления. В производстве МЭУ преимущественно используется контактная сварка сопротивлением без оплавления в различных вариантах ее реализации (например, конденсаторная, роликовая, контурная и др.).

Таблица 13.1

Некоторые сравнительные характеристики способов сварки с оплавлением соединяемых материалов

Источник энергии	Наименьшая площадь пятна нагрева,	Максимальная плотность энергии,
Ацетиленокислородное пламя	1, 0
Электрическая дуга
Электронный луч
Лазерное излучение

Для сокращения времени процесса сварки и ограничения зоны нагрева, сварку осуществляют короткими импульсами большой силы тока. Проще всего это реализуется с использованием разряда конденсаторной батареи на первичную обмотку сварочного трансформатора. Вторичная обмотка соединяется с электродами, выполняющими роль сварочного инструмента (прижимающего с двух сторон свариваемые детали). Такую разновидность контактной сварки называют конденсаторной. При сварке неподвижными электродами, удельное давление при сжатии деталей составляет 50…100 .

Влияние усилия сжатия на параметры импульса проявляется через контактное сопротивление свариваемых деталей: с увеличением усилия контактное сопротивление уменьшается, время разрядки при прочих постоянных параметрах сокращается (), а пиковое значение тока возрастает. При выбранных значениях емкости батареи и напряжения зарядки подводимая в зону сварки энергия остается постоянной и равной (), что является преимуществом конденсаторной сварки. В то же время для концентрации выделяющейся в области контакта свариваемых деталей теплоты сопротивление контакта , а следовательно, и начальное усилие сжатия должны быть оптимальными. Для повышения контактного сопротивления основание – крышка (оно должно быть существенно выше контактного сопротивления электрод – деталь) на одной из свариваемых деталей предусматривают специальный рельеф по контуру.

Электроды должны обладать высокой электро- и теплопроводностью при высокой твердости и износоустойчивости. Монолитные электроды выполняют из бронзы марок БрБ2, БрХБ или БрНБТ. Основание комбинированных электродов изготавливают из меди марок М1, М2 или М3, а рабочую часть – из сплава ВМ (20…30 мас.% Cu, 70…80 мас.% W). Для обеспечения минимального теплового сопротивления наконечник припаивают к основанию серебряным припоем. Фиксатор для центровки электродов изготовляют из латуни ЛС59-1.

При больших периметрах корпусов предпочтительна роликовая сварка (с подвижными, т.е. перемещающимися электродами), так как при этом уменьшаются нагрев корпуса МЭУ и необходимые усилия прижима свариваемых деталей, а также не требуется высокая точность инструмента. Однако, в данном случае требуется предварительно приварить (прихватить) крышку к основанию в нескольких точках, для чего используют специальные фиксирующие приспособления. Роликовая сварка осуществляется при подаче сварочных импульсов с частотой 50 Гц. В процессе роликовой сварки контактное сопротивление между крышкой и основанием корпуса изменяется сложным образом, в соответствии, с чем изменяется и подводимая в зону сварки мощность. Регулирование режима сварки основано на изменении выходной мощности в зависимости от контактного сопротивления, измеряемого между импульсами в процессе сварки.

При герметизации контактной сваркой не требуется высокой пластичности соединяемых материалов, есть возможность соединять тонкостенные (до 0, 15 мм) детали, а также автоматизировать процесс. Недостатком является невозможность сваривать медь и другие высокотеплопроводящие металлы, а также высокие требования к плоскостности и равномерности толщины соединяемых деталей.

Холодная сварка (ХС) осуществляется за счет пластической деформации свариваемых деталей под действием давления без дополнительного нагрева. Качество сварных соединений зависит от величины относительной деформации свариваемых деталей:

;

где – суммарная исходная толщина свариваемых кромок деталей; – толщина сварного шва.

Величина удельного давления при ХС составляет . При сварке ковара с никелированной медью относительная деформация составляет 75…80%.

Для качественной ХС необходимы:

 чистота свариваемых поверхностей;

 обеспечение требуемой степени деформации;

 применение покрытий, соединяющих поверхности тонкой пленкой более твердого металла (она разрушается при деформации и обнажает чистые поверхности, в то время как пленочное покрытие из менее твердого металла только “расплющивается”).

ХС используется для герметизации металлостеклянных корпусов. В зависимости от пластических свойств свариваемых материалов на практике применяют одностороннюю ХС (для материалов с различной пластичностью) и двустороннюю (для материалов примерно одинаковой пластичности). В последнем случае давление при сварке в 5…8 раз превышает предел прочности свариваемых металлов при растяжении.

К недостаткам ХС следует отнести: значительные пластические деформации, требующие увеличения толщины фланцев (на 0, 3…0, 8 мм в зависимости от размеров корпуса), что проводит к увеличению массы корпуса, а также необходимость в специальных конструкторских решениях для предотвращения распространения деформаций в зону расположения изоляторов выводов и в область крепления кристаллов МЭУ или микросборок (например, увеличение ширины фланцев корпуса, проектирование разгрузочных канавок и бортиков по контуру основания корпуса и т.д.).