Главная страница Случайная страница
КАТЕГОРИИ:
АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника
Анализ деформации зеркала на мембранно-технологической разгрузки с разворотом на 120 градусов.
|
|
Для проверки работоспособности оправы и доказательства того факта, что зеркало разгружается на оправе с точностью более высокой, чем требуется по спецификации на готовое зеркало, зеркало поворачивают на оправе на 60 или 120 градусов, снова устанавливают на оправу и контролируют полученный волновой фронт. Если изменения формы волнового фронта лежат в пределах спецификации, то это означает, что разгрузка дает надежное разгруженное состояние зеркала.
С учетом разброса высот в площадках заготовки зеркала был вычислен волновой фронт зеркала, который будет в точ случае, если компенсаторы мембранно-пневматических опор оставить без изменений при развороте зеркала на 120 градусов. Результаты представлены на рис. 4.7. RMS(W) = 0.146l, что составляет величину 89.9 нм, что существенно превышает параметры спецификации (40 нм).
Таким образом, при развороте зеркала на 120 градусов необходимо учитывать разновысотность площадок зеркала (±0.5 мм), которые через инваровые элементы базируются на мембранно-технологической оправе, и вычислять новые компенсаторы под мембраны. Поэтому поправка на высоту площадок dh2 колонка 5 также развернется на 120 градусов и значения компенсаторов будут другие (таблица 4.3).
Таблица 4.3
Hнастр. = 43 мм
| № опоры | H кор. ср. (мм) | Высота компенса-тора мм | Поправка на высоту опор (мм) dh1 | Поправка на высоту площадок (мм) dh2 | Окончатель-ная высота компенсато-ров (мм) |
| 1 ряд | |||||
| 1 (1222) | 37.93 | 5.07 | 0.70 | -0.16 | 5.61 |
| 2 (2142) | 38.63 | 4.37 | 0.71 | -0.44 | 4.64 |
| 3 (1362) | 38.22 | 4.78 | 0.73 | -0.08 | 5.43 |
| 4 (1373) | 38.07 | 4.93 | 0.70 | -0.09 | 5.54 |
| 5 (1672) | 39.48 | 3.52 | 0.70 | -0.36 | 3.86 |
| 6 (602) | 37.45 | 5.55 | 0.68 | -0.42 | 5.81 |
| 7 (1442) | 37.28 | 5.72 | 0.68 | -0.36 | 6.04 |
| 8 (632) | 38.75 | 4.25 | 0.70 | -0.49 | 4.46 |
| 9 (1782) | 36.65 | 6.35 | 0.65 | -0.38 | 6.62 |
| 10 (652) | 37.37 | 5.63 | 0.70 | -0.41 | 5.92 |
| 11 (792) | 37.11 | 5.89 | 0.70 | -0.22 | 6.37 |
| 12 (562) | 38.58 | 4.42 | 0.69 | -0.17 | 4.94 |
| 13 (1852) | 37.64 | 5.36 | 0.69 | -0.14 | 5.91 |
| 14 (512) | 38.61 | 4.39 | 0.67 | -0.13 | 4.93 |
| 15 (392) | 38.20 | 4.80 | 0.70 | -0.12 | 5.38 |
| 16 (2843) | 38.50 | 4.50 | 0.71 | -0.10 | 5.11 |
| 17 (1692) | 38.29 | 4.71 | 0.66 | -0.10 | 5.27 |
| 18 (1353) | 37.63 | 5.37 | 0.65 | -0.09 | 5.93 |
| 19 (762) | 39.46 | 3.54 | 0.70 | -0.09 | 4.15 |
| 20 (772) | 37.82 | 5.18 | 0.69 | -0.08 | 5.79 |
| 21 (852) | 37.75 | 5.25 | 0.68 | -0.09 | 5.84 |
| 22 (2562) | 39.35 | 3.65 | 0.68 | -0.06 | 4.27 |
| 23 (1802) | 36.61 | 6.39 | 0.70 | -0.06 | 7.03 |
| 24 (482) | 37.77 | 5.23 | 0.70 | -0.05 | 5.88 |
| 2 ряд | |||||
| 25 (522) | 37.77 | 5.23 | -0.19 | -0.04 | 5.00 |
| 26 (53) | 39.01 | 3.99 | -0.21 | -0.41 | 3.37 |
| 27 (1943) | 37.27 | 5.73 | -0.21 | -0.36 | 5.16 |
| 28 (1232) | 38.29 | 4.71 | 0.06 | -0.29 | 4.48 |
| 29 (672) | 38.57 | 4.43 | -0.22 | -0.03 | 4.18 |
| 30 (1502) | 37.10 | 5.90 | -0.20 | -0.16 | 5.54 |
| 31 (1712) | 37.49 | 5.51 | -0.20 | -0.33 | 4.98 |
| 32 (63) | 39.08 | 3.92 | -0.15 | -0.39 | 3.38 |
| 33 (752) | 39.20 | 3.80 | -0.15 | -0.11 | 3.54 |
| 34 (1452) | 38.30 | 4.70 | -0.20 | -0.21 | 4.29 |
| 35 (1592) | 37.63 | 5.37 | -0.20 | -0.04 | 5.13 |
| 36 (33) | 39.49 | 3.51 | -0.15 | -0.36 | 3.00 |
| 37 (1682) | 36.88 | 6.12 | -0.17 | -0.33 | 5.62 |
| 38 (613) | 38.29 | 4.71 | -0.15 | -0.29 | 4.27 |
| 39 (622) | 38.60 | 4.40 | -0.17 | -0.36 | 3.87 |
| 40 (572) | 38.20 | 4.80 | -0.19 | -0.37 | 4.24 |
| 41 (662) | 38.03 | 4.97 | -0.17 | -0.04 | 4.76 |
| 42 (812) | 37.64 | 5.36 | -0.17 | -0.04 | 5.15 |
| 3 ряд | |||||
| 43 (492) | 38.03 | 4.97 | 1.45 | -0.20 | 6.22 |
| 44 (1333) | 36.54 | 6.46 | 1.51 | -0.27 | 7.70 |
| 45 (742) | 38.76 | 4.24 | 1.55 | -0.16 | 5.63 |
| 46 (592) | 37.77 | 5.23 | 1.55 | -0.23 | 6.55 |
| 47 (1832) | 37.65 | 5.35 | 1.58 | -0.15 | 6.78 |
| 48 (722) | 39.06 | 3.94 | 1.48 | -0.24 | 5.18 |
| 49 (1073) | 37.29 | 5.71 | 1.61 | -0.29 | 7.03 |
| 50 (462) | 37.36 | 5.64 | 1.40 | -0.17 | 6.87 |
| 51 (822) | 37.99 | 5.01 | 1.57 | -0.25 | 6.33 |
| 52 (2083) | 37.80 | 5.20 | 1.50 | -0.13 | 6.57 |
| 53 (582) | 37.14 | 5.86 | 1.55 | -0.17 | 6.98 |
| 54 (833) | 37.89 | 5.11 | 1.50 | -0.27 | 6.34 |
| 55 (1822) | 37.46 | 5.54 | 1.90 | -0.26 | 7.18 |
| 56 (1262) | 38.05 | 4.95 | 1.57 | -0.27 | 6.25 |
| 57 (472) | 37.02 | 5.98 | 1.49 | -0.44 | 7.03 |
| 4 ряд | |||||
| 58 (262) | 39.15 | 3.85 | -0.05 | -0.16 | 3.59 |
| 59 (342) | 38.62 | 4.38 | -0.03 | -0.14 | 4.21 |
| 60 (1402) | 38.65 | 4.35 | -0.03 | -0.13 | 4.19 |
| 61 (1292) | 39.02 | 3.98 | -0.04 | -0.16 | 3.78 |
| 62 (1912) | 37.48 | 5.52 | -0.03 | -0.11 | 5.38 |
| 63 (702) | 38.95 | 4.05 | -0.03 | -0.18 | 3.84 |
| 64 (1732) | 37.38 | 5.62 | -0.01 | -0.09 | 5.52 |
| 65 (2043) | 37.22 | 5.78 | 0.00 | -0.10 | 5.68 |
| 66 (732) | 37.02 | 5.98 | 0.00 | -0.07 | 5.91 |
| 67 (1722) | 37.33 | 5.67 | -0.01 | -0.10 | 5.56 |
| 68 (1022) | 37.36 | 5.44 | -0.02 | -0.12 | 5.30 |
| 69 (692) | 37.87 | 5.13 | -0.05 | -0.31 | 4.77 |
Рисунок 4.7 Расчетная интерферограмма и карта волнового фронта на пневмоопорах при развороте зеркала на 120 градусов. RMS(W)=0.146 l.