![]() Главная страница Случайная страница КАТЕГОРИИ: АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника |
Плазменные технологии нанесения покрытий
Введение 396 1. Основы кристаллографии и дефекты в металлах 397 1.1 Элементы симметрии 397 1.2 Дислокации в материалах 398 1.3 Нульмерные дефекты 402 1.4 Радиационные дефекты 404 1.5 Двойникование, скольжение, поверхности раздела 404 2. Физические особенности формирования плазмы 407 3. Классификация плазменных технологий 414 4. Свойства тугоплавких металлов и их соединений 418 5. Технологические возможности современных методов повышения свойств материалов 421 6. Влияние эффективности плазменных технологий надёжности работы оборудования 424 7. Технико-экономические показатели использования плазменных технологий 427 9. Нанесение покрытий по технологии катодного распыления 430 9.1 Физические особенности ионного распыления 430 9.2 Особенности технологии катодного распыления при получении покрытий 442 9.2.1 Диодная система 445 9.2.2 Триодная и тетродная системы 447 9.2.3 Высокочастотные распылительные системы 448 9.2.4 Магнетронные распылительные системы 445 10. Ионное легирование материалов 474 10.1 Физические особенности ионного легирования 474 10.2 Особенности технологии ионного легирования 477 10.2.1 Процесс аморфизации 478 10.2.2 Ионное распыление поверхности мишени 479 10.2.3 Нагрев материала мишени 480 10.2.4 Отжиг ионно-легированных слоёв 481 10.5 Характеристика и особенности технологического оборудования для ионного легирования 483 11. Осаждение покрытий из сепарированных ионных источников 492 11.1 Особенности метода 492 11.2 Оборудование и технология ионно-лучевого осаждения покрытий из сепарированных источников 493 12. Ионная имплантация 496 21.1 Особенности метода 496 12.2 Имплантационная металлургия равновесных сплавов 502 12.3 Имплантационная металлургия метастабильных сплавов 508
13. Вакуумная ионно-плазменная технология нанесения покрытий 515 13.1 Особенности и классификация метода 516 13.2 Назначение и особенности основных технологически операций 526 13.2.1 Очистка поверхности плазмой тлеющего разряда 526 13.3 Особенности и назначение ионной бомбардировки 531 14. Однослойные покрытия нитридами тугоплавких металлов 537 15. Технологические возможности осаждения плазменных покрытий 540 15.1 Процессы на подложке 540 15.2 Процессы на аноде испарителе 544 15.3 Капельная фаза эрозии катода 545 15.4 Методы сепарации капельной фазы в составе покрытий 549 15.5 Влияние на свойства покрытий геометрии размещения деталей 551 16. Ионно-плазменные покрытия сложного состава 553 17. Методы оптимизации ионно-плазменных покрытий 558 18. Ионно-плазменные покрытия на инструментальных сталях 562 19. Антикоррозионные ионно-плазменные покрытия 573 19.1 Основы теории коррозии 573 19.2 Сероводородная коррозия 578 19.3 Дефекты в металлах и их влияние на качество покрытий 579 19.4 Механические и коррозионные свойства деталей с покрытиями 581 19.5 Коррозионные испытания конструкционных сталей с ионно-плазменными покрытиями 583 20. Технологическое оборудование нанесения ионно-плазменных покрытий 595 20.1 Основные требования к вакуумным дуговым испарителям 595 20.2 Технологические установки осаждения покрытий 600 Литература 615
|