Главная страница Случайная страница
КАТЕГОРИИ:
АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника
Экспериментальные результаты
|
|
В таблице 2 представлены исходные данные для записи спектров.
Таблица 2 – Исходные данные
| № спектра | Ep, эВ | Um, B | t | Коэфф. усил. | Начало спектра, эВ | Конец спектра, эВ | Вид спектра |
| 2, 1 | Д | ||||||
| 2, 1 | Д |
Обработали полученные спектры с помощью программы «Oridgin 8». Из полученных спектров вычли фон, определили энергии и интенсивности пиков (энергию определяли по отрицательному максимуму), зарегистрированных в спектрах. Ниже представлены полученные спектры.
Рисунок 7 – 1 Спектр вторичных электронов
Ер = 450 эВ, коэффициент усиления 20
Рисунок 8 – 2 Спектр вторичных электронов
Ер = 900 эВ, коэффициент усиления 50
По построенным графикам (рисунок 7, 8) определили параметры пиков (энергия и интенсивность) для каждого спектра, результаты значений представлены в таблицах 3 и 4 соответственно.
Таблица 3 – Измеренные параметры пиков (энергия)
| № спектра | Ер, эВ | Коэфф. усиления | Е1, эВ | Е2, эВ |
| 91, 03 | 274, 36 | |||
| 91, 84 | 277, 68 |
Таблица 4 – Измеренные параметры пиков (интенсивность)
| № спектра | Ер, эВ | Коэфф. усиления | I1 | I2 |
На поверхности есть оже-электроны, (не знаю как написать, ты же умный вот и придумай)
Используя таблицу 5, идентифицировали элементы на поверхности исследуемого образца.
Таблица 5 – Коэффициенты элементной чувствительности Si и энергии оже-пиков Ei некоторых элементов (Ep = 3 кэВ)
| №№ | Элемент | Ei, эВ | Si | №№ | Элемент | Ei, эВ | Si |
| C | 0.18 | S | 0.80 | ||||
| N | 0.11 | Ba | 0.12 | ||||
| O | 0.51 | In | 0.96 | ||||
| Si | 0.35 | Sb | 0.60 | ||||
| P | 0.24 | Fe | 0.23 | ||||
| Cl | 1.15 | Be | 0.13 | ||||
| Ca | 0.48 | Ag | 1.00 |
На спектрах 7 и 8:
Пики 1 имеют энергии Е1 = 91 эВ, исходя из таблицы это кремний (Si =0, 35).
Пики 2 имеет энергию Е1 = 274 эВ и Е1 = 277 эВ, исходя из таблицы пики 3 это углерод (Si =0, 18).
Используя формулу 7, рассчитали атомные концентрации всех элементов, зарегистрированных в оже-спектрах:
(7)
Для первого спектра:
Для второго спектра:
Тут наверное надо написать что концентрация тех больше и блаблабла, у меня голова болит, не могу думать
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В данной работе были изучены физические основы метода электронной оже-спектроскопии, качественный и количественный элементный анализ поверхности методом электронной оже-спектроскопии.
Были записаны спектры вторичных электронов при разных значениях энергии первичных электронов и коэффициентах усиления с помощью программы «VR_Lab».
Определены энергии и интенсивности пиков, а также их природа.
Рассчитали атомные концентрации всех элементов, зарегистрированных в оже-спектрах.