Абықшаларды жасау технологиясы

Қ ұ рылымы реттелмеген конденсирленген ортадағ ы алмазтектес

қ абышалар, аморфты гидрогенирленген кө міртегі (а-С: Н) неігзінде,

магнетрондық тозаң дату ә дісімен алынғ ан.

Тозаң дату процесі – нысананы жоғ арғ ы энергиялы иондармен атқ ылағ анда,

нысана материалының бетінен атомдардың ұ шып шығ у процессі болып келеді. Сонымен қ атар, жоғ арыдағ ы анық тамағ а сә йкес, тозаң дату процесі жеміру (травление) процесі ретінде қ арастырылып, бетті тазалау жә не оны профильдеу ү шін қ олданылады. Тозаң дату кезінде нысана материалының жойылуы жә не кө шіру (транспортировка) болатындық тан, бұ л ә діс жұ қ а қ абық шаларды алу ә дісі ретінде де қ олданылады. Қ азіргі кезде осы ә діс ә р тү рлі материалдардан қ абық шаларды алудың алдың ғ ы қ атарында.

15.1 суретте ВУП-4 вауумдық қ ондырғ ының камерасына орналастырылғ ан, тұ рақ ты токтағ ы магнетрондық тозаң дату жү йесінің сұ лбасы кө рсетілген. Қ ондырғ ыда вакуумдық камераны алдын ала форвакуумдық жә не диффузиялық насоспен ~5· Па қ ысымғ а дейін сорып алады, кейін камера жұ мыстық Ar+ газымен толтырылады.

1 – Тозаң дату камерасы, 2 – тө сенішті ұ стағ ыш, 3 – тө сеніш (подложка), 4 – анод, 5 – нысана (катод), 6 – анодтың тефлондық ұ стағ ышы, 7 – магнит, 8 – газ жіберілетін кіріс, 9 – тұ рақ ты ток кө зі, 10 – айдау (откачка) сызығ ы

15.1-суреті Тұ рақ ты токтағ ы магнетрондық тозаң дату жү йесінің сұ лбасы

Нысана тұ рақ ты магнитке орнатылып, қ алың дығ ы 2 мм жә не диаметрі 10 см пиролиттік поликристалдық графиттен қ ұ ралғ ан. Қ абық шаларды алу ү шін тазалығ а 99, 99% графит қ олданылды. Анод тат баспайтын (нержавеющий) болаттан цилиндрлік формада жасалғ ан жә не тұ рақ ты кернеу кө зіне қ осылғ ан. Тө сеніштің ұ стағ ышы да тат баспайтын болаттан жасалып, жерге қ осылады. Тө сенішті ұ стағ ыштың конструкциясы тө сеніштің температурасын сақ тап жә не 50 - 300º С интервалында ө згертуге мү мкіндік береееді. Тозаң дату анодта тұ рақ ты оң кернеу кезінде жү зеге асады.