Кеуекті кремний қалыптауының технологиялық шарты

Кеуекті кремний, анод болып табылатын, монокристаллды арсенид галлиясының электрохимиялық ө ң деу жолымен алды. Электролиттің сапасында ерітінділі қ ышқ ылдың сулы ерітіндісін пайдаланды [4]. Тә жірибелер ү шін n- жә не p-типтерінің ө ткізгіштігі полироваллық бетті, кристаллографикалық бағ ытталуы (100) жә не негізгі заряд тасымалдаушыларының концентрациясы тә ртіптегі арсенид галлиясының ү лгілері пайдаланылды. Ү лгінің кеуекті қ абық шасын алу алдында алдын ала дистиллирленген судағ ы келесі жуумен 1 минут аралығ ындағ ы ерітіндіде химиялық полирлеуге ұ шыратты.

Біздің жұ мысымызда, қ уаты 20 тә ртіптегі айналық шам қ олданылды. Электролит сапасында 25 % HF ерітіндісі қ олданылды.

Ток тығ ыздығ ы 70–80 шегінде жатты.Ө ң деу уақ ыты – 15 минут.

Ө ң деудің ө зі электрохимиялық ұ яшық та орындалды (7сурет).