![]() Главная страница Случайная страница КАТЕГОРИИ: АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника |
Термическое вакуумное напыление
Суть метода состоит в нагреве вещества в вакууме до температуры, при которой кинетическая энергия атомов и молекул испаряемого вещества становится достаточной для отрыва от поверхности и распространения в окружающем пространстве. Термическое напыление протекает в три этапа: 1) Испарение вещества с целью получения паро-атомарного потока; 2) Перенос пара в вакууме; 3) Конденсация пара на подложке с образованием плёночной структуры;
Косвенный путь подразумевает использование какого-либо побочного нагревателя, с температурой плавления, превышающей температуру испарения испаряемого вещества. Наиболее часто применяются проволочные, ленточные и тигельные испарители. Последние изготавливают из кварца (1400° С), окиси алюминия (1600° С), окиси тория (2200° С) и вакуумного графита (до 3000° С). В результате нагрева испаряемое вещество переходит из твёрдого в жидкое состояние, однако некоторые металлы, такие как хром и вольфрам, могут испаряться из твёрдой фазы. При дальнейшем повышении температуры, когда энергия, сообщаемая молекулам, станет достаточной для отрыва их от поверхности вещества, начнётся испарение. Температура, при которой давление пара над поверхностью вещества составляет 1, 33 Па, называется условной температурой испарения вещества. Скорость испарения определяется по формуле:
Тисп - температура испарения вещества; р - давление насыщенного пара; М- молярный вес испаряемого вещества.
|