Методы изготовления толстых пленок с помощью электролитического и химического осаждения

Электролитическое осаждение - это осаждение плёнок из водных растворов солей металлов (электролитов) под действием электрического тока. Подложка является като­дом и изготавливается из материала, инертного к электролиту. В основе процесса лежит электролиз раствора, содержащего ионы необходимого материала. На аноде - атомы ме­талла, оставляя электроны, уходят в раствор, в результате чего происходит растворение катода. Под действием электрического тока ионы металла, двигаясь к катоду, захватыва­ют на нём электроны и, осаждаясь, превращаются в нейтральные атомы. Ионы осажда­ются на катоде в виде островков, которые, сливаясь, образуют толстую плёнку.

Толщина плёнки контролируется по току и времени осаждения:

, где

- электрохимический эквивалент;

- сила тока;

- время процесса;

Если подложка является диэлектриком, то на неё предварительно наносят проводя­щий слой вакуумным напылением.

Химическое осаждение основано на восстановлении металлов из водных растворов их солей ионами гипофосфита без приложения электрического тока. Таким способом по­лучают плёнки из никеля, золота и платины.